첨단 반도체 및 고급 제조 공정에서{0}}유체 이송 시스템은 공정 안정성, 제품 수율, 운영 안전을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다. Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd.는 고순도, 부식성, 정밀-제어 매체를 위해 설계된 포괄적인 산업용 유체 전달 솔루션을 제공합니다. 당사의 솔루션은 소스 배포부터 사용 지점까지-완전한 유동적 경로를 포괄하여 까다로운 프로세스 환경에서 신뢰성, 청결성 및 장기적인 성능을 보장합니다.-
유체 전달 시스템의 업계 과제
고순도 및 오염 제어
반도체 공정에는 초-순수 화학물질과 초순수(UPW)가 포함됩니다. 미량 금속 이온, 입자 또는 추출물도 장치 수율에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다. 기존 산업용 유체 시스템은 고급 공정 노드의 순도 요구 사항을 충족하지 못하는 경우가 많습니다.
부식성 및 복잡한 매체
산, 알칼리, 산화제 등 많은 공정 화학물질은 강한 부식성을 나타냅니다. 유체 전달 구성요소는 장기간 노출 시 화학적 호환성과 기계적 무결성을 유지해야-합니다.
지속적인 운영 및 시스템 신뢰성
생산 도구는 연중무휴로 운영됩니다. 누출, 연결 실패 또는 흐름 불안정으로 인해 장비 가동 중지 시간, 웨이퍼 스크랩 또는 안전 위험이 발생할 수 있습니다. 높은 시스템 신뢰성이 필수적입니다.
컴팩트한 장비 설계
현대의 반도체 장비는 제한된 공간 내에서 조밀한 배관 레이아웃을 요구합니다. 유체 시스템은 컴팩트한 설치, 정밀한 라우팅 및 손쉬운 유지 관리를 지원해야 합니다.
핵심 기술 솔루션
고순도-유체 이송 솔루션
매우 깨끗한 프로세스 환경을 위해 특별히 설계되었습니다.-
재료 선택
- 고순도-PFA, PTFE 및 PVDF
- 낮은 금속 이온 함량 및 최소 추출 가능 물질
내부 표면 품질
- 부드러운 내부 흐름 경로
- 입자 접착 및 화학적 유지 감소
일반적인 응용 분야
- 젖은 벤치 및 청소 도구
- 화학 물질 전달 시스템
- UPW 유통 라인
부식-저항성과 긴-수명 설계
공격적인 화학적 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다.
화학적 호환성
HF, H2SO₄, HCl, H2O2 및 기타 공격적인 매체에 적합
구조 설계
- 응력-균열-저항성 기하학
- 데드-존-무료 내부 채널
운영상의 이점
- 연장된 서비스 수명
- 유지보수 간격 감소
- 총 소유 비용 절감
정밀한 연결 및 밀봉 기술
연속 작동 시 누출{0}}없는 성능을 보장합니다.
연결 방법
- 퓨전-용접 연결부
- 모듈식 빠른-연결 피팅
- 맞춤형 인터페이스 솔루션
씰링 성능
- 일관된 밀봉력
- 압력 변동 및 열 순환에 대한 내성
장점
- 미세-누출 방지
- 반복 가능한 조립 품질
- 빈번한 유지보수 주기 지원
맞춤화 및 엔지니어링 지원
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd.는 프로젝트 수명주기 전반에 걸쳐 강력한 엔지니어링 지원을 제공합니다.
- 공정 매체 호환성 평가
- 유체 시스템 선택 및 구성 지원
- 배관 레이아웃 최적화
- 프로토타입 테스트 및 검증
- 기술 문서 및 설치 지침
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. 산업용 유체 전달 솔루션은 고급 제조 환경을 위한 안정적이고 깨끗하며 안정적인 유체 관리를 제공합니다. 재료 전문성, 정밀 엔지니어링 및 시스템{3}}수준 설계를 통해 우리는 고객이 보다 안전한 작업, 더 높은 수율 및 장기적인 공정 안정성을 달성하도록 돕습니다.-